Re: [新聞] 又被美國逼！ASML將不再維修大陸DUV 中

a1e 發表於 2024/9/15 上午1:14:30

看板Gossiping標題Re: [新聞] 又被美國逼！ASML將不再維修大陸DUV 中作者

(我上了賊船了囧)時間Sep 15 01:14:30 2024推噓 9 推:10 噓:1 →:14

※ 引述《s213092921 (麥靠貝)》之銘言：
: http://i.imgur.com/iAZFy2w.jpg

: 9月11日中國工信部官方宣導推廣中國企業使用國產DUV
: 注意是國產DUV且專門生產14奈米的成熟製程光刻機
工信部公布的那個曝光機，從他參數來看就知道是成熟製程
還是乾式曝光機
工信部的規格是這樣
https://i.imgur.com/gRVsr0U.png

2.1.6的規格比較好，裡面的套刻是指overlay，不是能做到什麼等級的製程

跟ASML的1460K對一下規格就知道
https://www.asml.com/en/products/duv-lithography-systems/twinscan-xt1460k
The TWINSCAN XT:1460K 193 nm step-and-scan system is a high-productivity,
dual-stage ArF lithography tool designed for volume 300 mm wafer production
at 65 nm resolution. The TWINSCAN XT:1460K contains a variable 0.93 NA 193 nmprojection lens with advanced lens manipulators.

improvements, the TWINSCAN XT:1460K can achieve a dedicated chuck overlay of
<= 3.5 nm and a matched machine overlay of <= 5 nm with the TOP XT:1460K
package installed.
==========================================
工信部那台規格大概就是比1460k還要差一點，1460K是2005年的設備了
這設備明顯就是以成熟製程為主要目標
製造商有人說是中國電子科技集團，這家去年還今年的確有發表曝光機
今年大陸的大基金投資方向己經轉向要大量建廠了，工信部公布這個
八成是要蓋成熟製程產線的多買國產設備

不過有一個地方要注意，大陸的國產濕式DUV很有可能真的做出來了

中國記憶體廠 2024 年投資年增逾 90%，要突破 Chip 4 聯盟限制
https://pse.is/6fb848
長江存儲也將投入 30 億美元投資擴產，比前一年增加一倍以上。
長江存儲預計將以武漢二廠為中心進行擴產，確保 NAND Flash 快閃記憶
體的產能達到每月 13 萬片的規模
==============================
長存被美國制裁後原本的二廠都停擺了，現在投30億美元擴產，除了買國產設備
沒有其他可能
NAND相較邏輯晶片比較不需要微縮下去，不用太依賴先進製程
(詳細請看 https://www.synnex-grp.com/component/tech_paper_42.html )
只有蝕刻機比較重要
去年長存己經用國產蝕刻機生產出232層NAND了
https://moptt.tw/p/Gossiping.M.1696914656.A.662
所以蝕刻機己經不是問題了，那就只有曝光機和其他設備了
現在投資擴產很有可能是全部都解決了