[請益] 要用iline or gline

wzmildf 10/21 15:57那你不會試看看？

Vinurpe 10/21 15:58當然是EUV 跟樓下拿阿斯麥採購連絡電話

nanpolend 10/21 16:08太難了超出自身專業太多得問內行的

kyle5241 10/21 16:09gline 和 i line 先解釋一下是啥好嗎

flower42 10/21 16:13自己去算解析度啊==

lstn 10/21 16:14主要看你的pattern和有什麼設備吧

sl613 10/21 16:14看光阻吸收波段吧，不負責回答

sampo10102 10/21 16:15看你的光阻材料啊

flower42 10/21 16:15誰知道你線寬多少==

Vinurpe 10/21 16:17436跟365你比較喜歡哪個數字?

Vinurpe 10/21 16:19認真回, 理論上波長越小, 解析度越佳,但DOF會下降

Vinurpe 10/21 16:19你還是要評估啦, 我是不太相信paper都沒寫實驗條件

Vinurpe 10/21 16:19你也可以寄信去問通訊作者

sc1 10/21 16:47用G-line去輪班就知道了

transletum6410/21 16:55用immersion 閉著眼睛曝光就好

premise 10/21 17:12答案很明顯 是gline

venomsoul 10/21 17:17Line改這麼多版本了喔，趕快來下載

cefywo 10/21 17:399x9的光罩跟要用I還g有什麼關係啊？認真不懂？爽用K

cefywo 10/21 17:39rF或ArFi也行吧看pattern跟光阻不是嗎？

XperiaZ 10/21 17:39getline

depen 10/21 17:54看圖案線寬大小決定用那個

Cinderlin 10/21 18:25作業自己寫啦

wisebani 10/21 19:05建議直上GTline,比較超值

Mbappe10 10/21 19:09問就是gline

ijk1 10/21 19:18當然是high NA EUV

hihowareyou 10/21 20:30G point

bensonliu 10/21 21:43G

jtsu5223 10/21 21:56顯微鏡手刻即可

onomedu 10/21 22:08皆可使用

abcdyy 10/21 23:43ST line 也不錯 考慮一下

huhuiying 10/22 00:18gline呀

imhanhan 10/22 07:19太難了 我只知道highlight

fiber1124 10/22 11:42哪麼大的線寬，搭配適合的光阻都曝的出來，要先看

fiber1124 10/22 11:42後續的製程需要要什麼樣的光阻吧！

ohlaohhh 10/22 12:31Gline 就夠了，殺雞用牛刀

Satansblessi10/22 20:39手刻啊！ CD那麼大

ji394vul3nn 10/23 16:10.…....

z515026 10/25 12:04黃光設備工程師歡迎你

ian41360 10/25 12:589mm我都用手刻給你參考