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Re: [爆卦] 中國清大EUV大突破??!!

看板Gossiping標題Re: [爆卦] 中國清大EUV大突破??!!作者
a1e
(我上了賊船了囧)
時間推噓45 推:49 噓:4 →:110

大陸清大那個團隊不是第一個想到這玩法的
這想法很久以前就有人想過

例如國科會底下的未來科技館
https://tinyurl.com/mr7umhef
技術簡介
現有的電漿EUV光源功率有限,加上污染嚴重,是邁向3奈米的主要障礙。加速器光源因為完全潔淨 ,光源功率透過自由電子雷射機制可大幅提升功率超過千瓦,符合高量產需求,是世界最大的半導體設備商積極尋求的替代光源。

科學突破性
"1.半導體將邁向3奈米極限,而關鍵瓶頸在於現有的電漿EUV光源功率有限且污染嚴重。目前世界最大的半導體設備商正積極尋求同步加速器光源成為新替代光源,它的特性為完全潔淨且可大幅提升功率超過千瓦。
2.加速器光源具超高亮度、波長可調、光源解析度高之特性,透過超低掠角X光繞射等技術,可精準分析超薄奈米晶
===================================
這是2017年的頁面

這應該是中研院那邊拍的影片(原始影片找不到不知那年拍的)
https://www.bilibili.com/video/BV1pX4y137Td
也是提到加速器未來會用在曝光機上,還有提到和ASML合作

前面那幾篇說用加速器來生產euv是浪費的,去跟中研院和ASML吵一下吼
說你們的研究就是浪費錢


另外這個大陸清大團隊他們的研究還上了nature
https://www.nature.com/articles/s41598-022-07323-z

euv協會組織也有刊出他們的簡報
https://www.euvlitho.com/2020/S52.pdf
他們是借德國的加速器來試驗,後面的照片有出現白人是德國人
從2019試到2021年

這個不知是不是他們未來要蓋的試驗設備
https://i.imgur.com/SF9WbFj.png


這個SSMB設施應該是確定會蓋了,這是五月的公告,現在應該都動工了
https://i.imgur.com/wzTvP4d.jpg

結論就是大陸在雄安新區蓋的應該還是試驗設施,為下一代的EUV設備進行鋪路
半導體生產不是你曝光機造出來就行了,你後段工藝也要一起跟著配合
ASML的EUV設備功率是250~300W,這個有1KW以上功率,光阻液就不可能沿用
當年ASML開發EUV設備不是只有他一家下去做,還找了上下游設備廠一起做整個工藝流程大陸這東西要出工程樣機至少五年以上
不過這東西造出來會很可怕,因為他們光源線寬可以覆蓋1~100nm
等於這設備可以一次把現在duv和euv設備的曝光環節所需精度都包含在內了
只是全都用euv來曝光就是了

另外,過去大陸有關半導體設備的影片,隨便亂吹的都不會管,但只要你說到點就會被砍大陸自媒體現在瘋狂做ssmb的影片,很有可能不是大陸現階段主要技術方向
例如下面這個是華中科大的技術方案(大陸提出相關euv技術方案有很多)
https://i.imgur.com/dWzOk8K.png

相關資料非常少,網路上幾乎沒看到什麼資料

另外我追的一個消息來源2月就講了這件事
https://i.imgur.com/2VjjOYH.png

他後面有講一點東西,不過都有隱誨提到euv工程樣機己經出來了


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※ PTT 留言評論
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 118.166.200.32 (臺灣)
PTT 網址

woulin 09/16 19:51他們想做,遲早會做出來

apple123773 09/16 19:52就成本稍微高一點點都應該可以的

hermanwing 09/16 19:52專業

apple123773 09/16 19:52想當年IBM也很多腦洞的

woulin 09/16 19:52當年兩彈一星 沒錢沒資源都做出來

mikasamikoto 09/16 19:53原來如此

mikasamikoto 09/16 19:53原子彈不是有蘇聯幫忙嗎?

原子彈,蘇聯只給一半,後面蘇聯專家撤走,是大陸這邊的人接手繼續研究

railman 09/16 19:53euv手刻樣機?

lou 09/16 19:54這裡一堆鍵盤專家,都比ASML執行長還行,笨

lou 09/16 19:54洋人說「孤立中國沒有作用 中國很多聰明人會

lou 09/16 19:54自己研究」

hermanwing 09/16 19:54蘇聯掐脖子,重要的不給。後來是錢學

hermanwing 09/16 19:54森,也被美國軟禁5年

※ 編輯: a1e (118.166.200.32 臺灣), 09/16/2023 19:55:30

woulin 09/16 19:54中國遲早會突破西方人的技術封鎖

selvester 09/16 19:57ㄜ 其實臺灣人也是西方人唷照樓上講法

PhilHughes 09/16 19:57學店4x表示 我看完了,還好而已

apple123773 09/16 19:57基本上預計商轉蠻多人講10年沒問題拉

apple123773 09/16 19:58但是10年後asml的技術是啥...我不知

woulin 09/16 19:58我預測 5年內 中國會有可商用的EUV出來

apple123773 09/16 19:58同樣的...我也不知道老共要不要硬幹?

woulin 09/16 19:5910年內 GG製程技術 被中國超車

apple123773 09/16 20:0010年後現在的GG技術會被老共打敗沒問

apple123773 09/16 20:00題阿XDD

woulin 09/16 20:01那時GG股價剩幾十元

apple123773 09/16 20:01如果用這麼浩大的成本的話XDD

welly520 09/16 20:01安安 你突破人家是因為人家已突破自己

hermanwing 09/16 20:02我覺得中國幹這種的都是愛國情懷居多

hermanwing 09/16 20:02要錢的都到美國矽谷去了

potionx 09/16 20:0310年太樂觀了 中國自己說50年 平均30年吧

odaaaaa 09/16 20:03人,錢,愛國情懷,大陸一樣不缺就怕美

apple123773 09/16 20:03用10年比較正常拉...因為這種腦洞大

toshizo 09/16 20:03百年內一定做出來

apple123773 09/16 20:04成本超高的 真的可以硬拚的 我好像

apple123773 09/16 20:04在哪個30年前的美國文章看過

potionx 09/16 20:05中國經濟有限 不要想成無限...那會誤判

apple123773 09/16 20:05就是有限 才希望老共硬拚阿....

IBIZA 09/16 20:10這是自由電子(SR FEL), 不是穩態微聚束(SMM

IBIZA 09/16 20:10B)

GSWA 09/16 20:12講中國10年內超車的應該是知道偷竊技術的計

GSWA 09/16 20:13畫和內幕了,不然不可能這麼有把握

abcd5566 09/16 20:14設備要講究幾年可以攤平 這台要幾年攤平

ian41360 09/16 20:14功率高不代表PR不能沿用,要有高解析的

ian41360 09/16 20:14EUV PR才是重點

cat5672 09/16 20:17沒事兒 一切都是幻覺

d0089145 09/16 20:18蘇聯是被太空競賽拖垮 現在輪到中國了

nerevian 09/16 20:22清華早就想搞自己的大型加速器 借大煉晶

hermanwing 09/16 20:23美國忽悠中國做電磁砲跟核聚變要拖垮

nerevian 09/16 20:23圓騙經費而已 方案毫無實用性

lipstick 09/16 20:23講的好像gg現在開始每天睡覺一樣

hermanwing 09/16 20:24中國,複製太空競賽。結果中國真的做

hermanwing 09/16 20:24出來了

pttbeigowow 09/16 20:24一萬年一定做得出來 嘻嘻

hermanwing 09/16 20:26這次阿拉伯國家(沒記哪國),用中國

hermanwing 09/16 20:26激光武器全殲無人機

raku 09/16 20:30笑死 中國被美國忽悠去弄頁岩油氣都忘了嗎

dragonjj 09/16 20:34你說的都對 所以ASML跟台灣的研究去哪了

shepherdy 09/16 20:35看八卦版推文一堆吹捧 還以為在看微博

tp6pt 09/16 20:47哈笑死,看你在吹,46億年前就有的東西

tp6pt 09/16 20:47太陽啊,超大光源,什麼波長都有

squelch 09/16 20:48給推 有料

bnn 09/16 20:521-100nm光源是沒有工程效益的 你個波長開發一

bnn 09/16 20:53隻光阻給他用 神經病 全部用1nm光源照啦

bnn 09/16 20:53最小的那個resolution可以畫大不能畫小

bnn 09/16 20:54說覆蓋1-100nm光源都能拿來用 實際上就是浪費

bnn 09/16 20:5499%能量在2-100nm然後只會拿1nm光源去用

bnn 09/16 20:55中國要是真的針對1-100nm開發10隻光阻10套光

bnn 09/16 20:56學元件鍍膜抗吸收分別在十個區段 讚喔 多少錢

oinmrr 09/16 20:56傻子才會認為中國講的能信…笑死

bnn 09/16 20:57然後那個100nm那裏沒廠商要用 因為沒比較便宜

tp6pt 09/16 20:57算了吧,講再厲害充其量只是個燈泡

oinmrr 09/16 20:57GG股價幾十元?那你期待你家習主子掛掉還

bnn 09/16 20:57這十套開發出來的成本是一樣(差不多)的

oinmrr 09/16 20:57比較快

bnn 09/16 20:58在100nm那個區段的商業成品價格回收不了

bacteria2014 09/16 20:58一直在那手刻的是多北七阿,這是很

tp6pt 09/16 20:58怎麼把光投影成像才沒那麼簡單

bacteria2014 09/16 20:58嚴重的問題

drt 09/16 21:20中國的體制 註定只能山寨 自己走的路都是失敗

nk 09/16 21:20台積電設廠調教EUV跟機台差不多要一年時間

drt 09/16 21:20的。不過山寨方面很強,還是得看制裁的力度

nk 09/16 21:21這個大小要調教機台 可能百年吧

allofme 09/16 21:30嘻嘻,某些井蛙真的是不探頭的蛙

blockyang 09/16 21:41五毛全聚集在這篇了,笑死

scarbywind 09/16 21:52別人換一個鏡頭你要動一個城市

minipai 09/16 21:57WPH會多少?

loko 09/16 22:05感覺很多人搞不清楚狀況 美國的目的只是要拖

loko 09/16 22:06慢中國的發展 讓他把資源放在這個永遠追不上

loko 09/16 22:06項目上 基本上只要5年內原地踏步中國就輸了

loko 09/16 22:0710年後做出EUV也是沒有用的 感覺很多人以為

loko 09/16 22:07只要中國能做出來就贏了 老實說這盤棋是中國

loko 09/16 22:07一定輸但又必須砸大錢發展 慘...

loko 09/16 22:08就跟冷戰跟蘇聯拚太空一樣的意思 你不拚是輸

loko 09/16 22:09拚了輸更慘

monkeydpp 09/16 22:10就看現在ASML那套EUV什麼時候會踫到極

monkeydpp 09/16 22:10

nk 09/16 22:14下一代EU剛出來V

nk 09/16 22:14下一代EUV剛出來

oinmrr 09/16 22:18五年內中國能做出商用的EUV?笑死

oinmrr 09/16 22:18天真的以為那個是泡麵就對了..

oinmrr 09/16 22:1910年內台積電被中國超車?講的好像台積電

oinmrr 09/16 22:19都不會發展就對了….

oinmrr 09/16 22:20要是真的那麼好超車,老美就不會千方百計

oinmrr 09/16 22:20的想要台積電的核心技術了….更別提中國

oinmrr 09/16 22:20連老美的技術一半都不到

SiFox 09/16 22:22樂見競爭

koster 09/16 22:31中國用全國的力量去發展這個真的很蠢 能夠

koster 09/16 22:31做出來 只能拿來吹爽爽而已 不能真的商業

koster 09/16 22:31用 沒有辦法商用 最後就是被這個拖垮 資本

koster 09/16 22:31主義厲害的地方就是能夠靠市場自給自足發

koster 09/16 22:32

meatmm 09/16 22:47雖然解像力和光源波長有正相關 但一直講得

meatmm 09/16 22:48好像有幾nm波長光源就有幾nm產品感覺很怪

meatmm 09/16 22:49而且每種不同nm光源波長 對ProjectionLens

meatmm 09/16 22:49來講應該都要重新設計 還不如固定光源波長

good5755 09/16 22:50小粉紅會說有100種波長可以建100台euv

meatmm 09/16 22:51設計一根就好 不然2、30片lens組起來的東

good5755 09/16 22:51從1奈米到100奈米都有 嚇死你

meatmm 09/16 22:52西 加上coating 弄多真的只是在搞自己而已

ntuwalker 09/16 22:54以台灣這種落後的工業人才培訓,被超

ntuwalker 09/16 22:54車也不是啥奇怪的事,讓台積電保持領

ntuwalker 09/16 22:54先的是民國三年級、四年級那一代,不是

ntuwalker 09/16 22:54七年級,更不是鳥到不行的八年級

Catdatfat 09/16 22:56又贏了

CortexA9 09/16 23:01ASML的EUV是結合各國的頂尖技術整合而成

CortexA9 09/16 23:01我是不信中國能獨自單幹EUV裡面的零件

CortexA9 09/16 23:01中國連個引擎都搞不定

CortexA9 09/16 23:01不然先搞個跟蔡司同等級的鏡頭出來看看

waddler 09/16 23:02讓台積領先跟停滯的是同世代的人

waddler 09/16 23:02年輕人在GG只是耗材

sun0268 09/16 23:09那台大走路人也是廢物嗎 我看你也是七年

sun0268 09/16 23:09級的吧

CortexA9 09/16 23:11另外ASML的曝光機 都搶先在台積最新製程

CortexA9 09/16 23:11出來前就研發完成 你現在拼老命做EUV

CortexA9 09/16 23:11等你搞定 ASML新一代的也差不多出來了

CortexA9 09/16 23:12美國主要也是想維持這種科技代差的情況

basslife 09/16 23:13老實說中共真的能做出來你會意外嗎 對

basslife 09/16 23:13岸人才多又一堆留學歐美的 就算抄也絕

basslife 09/16 23:13對抄的出來

basslife 09/16 23:14中共什麼都沒有就錢最多 他想挖世界各

basslife 09/16 23:14國頂尖人才也絕不是問題好嗎

kkking 09/16 23:30用抄的本來就比自己挑戰新的容易

kkking 09/16 23:31沒有自己挑戰極限的能力,永遠落後一段

PeikangShin 09/16 23:38八卦都是IEEE fellow 塔綠等級的

linalex8518 09/16 23:54一推沒碰過曝光機的人都講得很厲害

linalex8518 09/16 23:54小弟有幸碰過 發現一堆人都在鬼扯

oinmrr 09/17 00:06要是光靠抄襲就能抄出來,當初大撒幣階段

oinmrr 09/17 00:07就不會連個屁都沒有了…笑死!一頓五毛好

oinmrr 09/17 00:07傻好天真

kkoo5888 09/17 00:54生命會找到出路的,越限制發展就越大

zealone 09/17 01:085G打不贏就制裁 誰才是世界流氓還不清楚

g9911761 09/17 01:44就算造出來 還有很多需要造 都是錢

jipq6175 09/17 02:38直接用同步輻射 x光 屌打紫外光

EZTW0000 09/17 04:25學術和商用搞清楚

b61921 09/17 07:32中國聰明人優先做的第一件事是移民 傻逼

b61921 09/17 07:32才會待在那種地方

zx610176 09/17 08:43中國被美國忽悠 但中國都把他做出來了

taylar1108 09/17 09:04怎麼有五毛在高潮吹捧啊 好好笑

tn00371115 09/17 12:19還要用分光器分出需要的光源 考量到大

tn00371115 09/17 12:19部分光都被浪費 成本不實際

tn00371115 09/17 12:19再來成相用的光阻才是大問題

mayu1230 09/17 16:10https://i.imgur.com/TOmApp5.jpg

mayu1230 09/17 16:10https://i.imgur.com/2DbPUJI.jpg

mayu1230 09/17 16:12https://i.imgur.com/I2MfQWF.jpg