Re: [新聞] 年底前關閉部分EUV省成本，台積電：不評

我也認為半導體廠目前不會斷電省成本，Fat大大是設備商角度

那我以User角度來看，關電問題

關電就是沒錢才關的，所以真的關電後：

1.關電後缺料就去拆PM3機台上的parts，反正主管能過的了這關最重要

2.管理問題，拆機件要不要補？何時補？怎麼補？
工程師拆了可能不講的，換了一個壞的，或零件、板子斷電後就掛了，找誰算？

3.有的parts就是要過電，要加熱的
例如真空機台的turbo pump、dry pump
不轉放著可能開電就轉不起來了

然後真空管路是要加熱的，製程中的廢棄生成物很多遇水氣是會有腐蝕性的

關電沒真空、不加熱，水氣多了就咬穿管路

要避免這樣的情況，關電前又要先洗乾淨管路

很多管路又要外包才拆的下來（高空作業，危險性太高）

不洗不安全，洗了扣一扣電費根本就沒省到

有沒有關大電省錢的公司？有我碰過，最後真的省到錢的沒幾個

說真的與其搞這種偏門省錢法，不如找找N2漏氣

換安裝節能設備，節能pump是都換完了沒啊？一台節能pump往往裝一年就回本了......

※ 引述《FatSucks (PRS 最高!)》之銘言：
: 身為一個設備商現職工程師...
: 半導體設備是不太可能上線之後關大電的!!甚至 EMO 按下去你就是得被懲處...
: 這個概念跟一般用電不太一樣，
: 就機台寧願開著放在那邊，就算不 RUN 貨 (Wafer) 也不願意關大電
: 關大電以後再開，很多東西要重新調整，甚至有些精密的元件可能這樣掛掉
: 舉例來說好了：
: 客戶有一次不知道衝三小去關大電，然後一顆 power supply 就掛掉了...
: 這下好了啊，依照目前現在的貨運的狀況，台灣沒有這顆 power supply 可以買，
: 要從海外買，你知道一顆從下 PO 到客戶手上， lead time 要多久嗎...
: 答案是要等到十二月...
: 好這是其一。
: 接著你順利地開起來了，因為機台中間有關大電，
: 一般機台裡面會有所謂的 FFU 或者你就想像是一個風扇一直在吹，
: 目的是為了穩定機台內的氣流，減少 particle 的亂跑
: 但是因為你關了大電，FFU 當然不會吹，這時候 particle 就亂飛了啊...
: 這只是其中一個影響，如果是有閥件的，
: 因為太久沒動，一動起來反而磨出一些 particle...
: 再舉例一個
: 客戶有一次年保，年保他給我關大電，也順利開了起來，
: 結果 particle monitor
: (簡單來講就是要測定一片 wafer 進去這個機台進行製程到出這個機台，總共會
: 有多少 particle 在上面的一個檢測)
: 你知道測了多久嗎? 測了整整三天... (Dummy run + 測)
: 你說機台開著 idle 耗電，因為沒貨要省電所以關電，
: 你先考慮一下上面兩個...這兩個花的時間成本絕對大於三小省電...
: 再來晶圓的第一步就是曝光，曝光精度如果跑掉 (不管你是位置跑掉/ 線寬不對...etc)
: 你後面蝕刻、顯影...三小的技術再強都沒幹用，
: 而且因為晶圓是一層一層鋪上去的，如果你在後段 layer (最後面幾層) 精度跑掉
: 抱歉，整片 wafer 不能用，或者應該說整盒 (25片) 等報廢。
: 然後你就要感謝 ASML 的工程師， 24 HR 在那邊 trouble shooting...
: 好，那麼如果從最一開始關大電到整個開起來完全順利，
: 還有精度的測定 (這個就超多項目要做，不好意思，一個項目基本半天起跳，
: 而且重點是還不一定第一次就過)，再來客戶這邊可能還要重新 Qualification
: (簡單來講剛剛有說 wafer 有很多層，假設一百層，有可能你要舖的每一層都要重新測過
: 讓 QC 甚至客戶 那邊說：喔喔這樣可以，你才能機台重新上線喔...)
: 以上是我一個從事這行超過十年的廢物，盡可能的白話解釋了...
: 關大電省電這根本就是...我不想說但是實際上就真的是：『外行人講的話...』
: 不過也真的是這些外行人說的話，讓市場製造恐慌...才有便宜價可以撿啊...

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關電都是騙騙廠長、總經理能省錢，實際上是省不了的 不如放著不測機，不生產，Chamber給清掉再給它降溫（pump、管路不降，只降Chamber) 那省下來的就很多了 不然就chamber包保溫......，放著不生產，也可以省錢...... 因為chamber很多最外層是氣冷，它熱散失慢，就省電費了，前提是不生產 或Chiller乾脆拆下送原廠保養，反正不生產就推回原廠保養抓漏 每年一個部門光漏的可能都能買好幾台新chiller了 反正回廠再付錢嘛......，廠商也可以慢慢修 很多招啦，可是提出來寫報告又很麻煩，又被噴，就不想講了