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請問 各位先進 我司有一台設備現在鍍膜成分主要是鍍氮化鈦或是氮化碳薄膜。 設備功能有弧靶、柱靶、中高頻電源供應器。 如將設備把靶材更換、氣氛更換，是否可以拿來鍍透明導電膜Al2O3、AZO、ITO之類的? 設備需要做什麼修改嗎? 設備工程師說這是不可能的??? 卻回答不出原因。