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[請益] PVD設備 濺鍍 材質限制

看板Tech_Job標題[請益] PVD設備 濺鍍 材質限制作者
cocoplum
(我愛可可)
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請問 各位先進

我司有一台設備現在鍍膜成分主要是鍍氮化鈦或是氮化碳薄膜。

設備功能有弧靶、柱靶、中高頻電源供應器。

如將設備把靶材更換、氣氛更換,是否可以拿來鍍透明導電膜Al2O3、AZO、ITO之類的?

設備需要做什麼修改嗎? 設備工程師說這是不可能的??? 卻回答不出原因。

是否有設備商或是有經驗的相關先進,可以請益。



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pinkowa03/09 00:041.問原廠 2.你應該是買了二手機,所以不敢問原廠。

wzmildf03/09 00:09自己的功課自己做

johnyson03/09 00:27以小弟個人見解,要更改機台run 其他製程,並不是簡單

johnyson03/09 00:27更改靶材氣體等材料就可以達成這麼簡單,以PVD來說,能

johnyson03/09 00:27量(generator)、真空度(pump)、靶材純度(target)與

johnyson03/09 00:27氣體流量控制(MFC)、副產物的清除(scrubber),外加一些

johnyson03/09 00:27細項更改,不是這麼簡單可以全部都考慮到的,半導體設

johnyson03/09 00:27備之所以難就是因為他的複雜度,我們一般設備人員很難

johnyson03/09 00:27有全面的資訊以及料件去改機,所以樓上的才會說找原廠,

johnyson03/09 00:27除非貴司能承受改機失敗所浪費的時間與費用,如果要省費

johnyson03/09 00:27用起碼也要找second source的廠商去評估吧!

jim54300003/09 01:47你不會把target裝上去試嗎?

jim54300003/09 01:49會怕還敢買機器自己retrofit

cxzdsa03/09 05:38真的是該試一下看看效果,品質能接受不就可以了。

Mysex03/09 07:18自己的專案自己做

tseng41312103/09 08:43你肯定沒念過研究所

x08094492403/09 08:44自己不會試試看?

vdfoty03/09 09:14大一生?

avgirl03/09 12:04484你公司老闆又在異想天開惹? QQ

douge03/09 12:57可以

hyenhan03/09 17:57可以啦

hyenhan03/09 18:00看是反應式濺鍍還是icp的

hyenhan03/09 18:01遲滯曲線抓一下

Ensoul03/09 20:30花錢請vendor retrofit啊 用嘴巴問機台就自己會改好了嗎

Keelungman03/09 23:10DC? RF?

allen869403/09 23:35是在反串?!